microelectronics微電子學(xué)電子學(xué)的一門分支學(xué)科。研究如何利用固體內(nèi)部微觀特性以及特殊工藝,在固體的一個(gè)微小體積中制成具有一種或多種功能的完整微型、電路或元件。最簡(jiǎn)單的一種方法是制作超小型的、分立的電路元件,如:電阻、電容器及半導(dǎo)體裝置等。另一種方法是把電路元件加工成導(dǎo)電的、半導(dǎo)電的或絕緣的薄片并將其焊著于絕緣襯底上。最先進(jìn)的辦法是制作集成電路,即在一塊連續(xù)的襯底材料上同時(shí)做出大量電路元件,并把它們互連而成。微電子學(xué)的發(fā)展,使電子設(shè)備和系統(tǒng)在微小型化、高可靠性和低成本方面進(jìn)入新階段。 |