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一種分析微量物質(zhì)(10-16千克)的方法。其原理是利用聚焦的高能電子束轟擊固體表面,使被轟擊元素激發(fā)出x射線,按其波長及強度進行定量或定性分析??煞治鲈有驍?shù)3~92號之間的元素。分析面積小至1平方微米。廣泛應(yīng)用于地質(zhì)、冶金、材料研究部門。
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